国产高潮国产高潮久久久,精品人妻系列无码专区,久久老子无码午夜精品秋霞,欧美3p两根同时进高清视频

135 0625 7255
電子潔凈廠(chǎng)房化學(xué)品回收系統及設備
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發(fā)布時(shí)間：2023-07-12
在電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房中，以芯片制造、平板顯示器件制造為代表的生產(chǎn)過(guò)程需用多種化學(xué)品，尤其是芯片生產(chǎn)過(guò)程所需的化學(xué)品 （包括特種氣體）都要求非常高的純度和特殊的反應機理，晶圓越大，潔凈度要求越高，產(chǎn)品生產(chǎn)所消耗的各種品種化學(xué)品總計的成本就高，據有關(guān)資料介紹化學(xué)品的成本占晶圓總制造的成本達 40%；雖然不同的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝具有各自的特點(diǎn)，但是都需設置不同的化學(xué)品回收系統，據了解，化學(xué)品回收系統有回收利用、收集委托處理和回收處理后排放等方式?；瘜W(xué)品回收系統應根據排出;廢液的不同性質(zhì)確定，不得將可能發(fā)生化學(xué)反應的兩種或多種化學(xué)品合并為一個(gè)系統進(jìn)行回收。在集成電路芯片工廠(chǎng)和液品顯示器面板工廠(chǎng)內的化學(xué)品回收系統均連續不間斷地收集和處理從產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程排放的化學(xué)品廢液。

化學(xué)品廢液回收系統按其物化性質(zhì)分別收集和處理，如有機廢液回收系統--從生產(chǎn)設備連續排出的異丙醇、剝離液、光刻膠經(jīng)過(guò)管道排放到廢液回收儲罐，等待處理；酸堿回收處理系統從生產(chǎn)設備排放的酸堿廢液、氨水廢液等經(jīng)過(guò)管道排放至回收罐，一般經(jīng)中和處理達到排放標準后排放；在平板顯示器件的制造過(guò)程中使用的鋁（AD、鉻(Cr)的刻蝕液屬于重金屆廢液，一般也是經(jīng)管道排放至回收儲罐，等待處理等；化學(xué)品廢液收集后應嚴格按化學(xué)品類(lèi)別回收利用或委托專(zhuān)門(mén)企業(yè)處理或回收處理達到排放標淮后排放等。據了解，在集成電路芯片工廠(chǎng)光刻膠、剝離液一般是委托有資質(zhì)的廠(chǎng)家進(jìn)行處理后再利用，在芯片工廠(chǎng)內設有回收儲罐及其管路系統，從生產(chǎn)工藝設備排放的廢液通過(guò)重力流至收集回收儲罐，定期由泵抽送至液體槽車(chē)外送至處理工廠(chǎng)

①化學(xué)品回收儲罐一般設在潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊妮o助生產(chǎn)區，并宜采用集中布局的方式，但溶劑化學(xué)品回收系統應與酸堿化學(xué)品回收系統分區域設置?；瘜W(xué)品回收用桶罐的儲存容量宜大于或等于7天的廢液量，回收桶槽應設置備用桶槽，桶槽數量不得少手2支；并設有桶槽自動(dòng)切換裝置，按桶槽的液位計實(shí)現自動(dòng)切換，回收桶槽的液位計應有高位指示、報警和聯(lián)鎖功能

②化學(xué)品回收系統的設備應設置在防護堤內，防護堤的容積應大于防護堤內較大回收儲罐的單罐容積；防護堤內應設有泄漏皮液收集溝，并應在收集溝內設置廢液收集池；對于不同性質(zhì)的化學(xué)品回收桶槽應布置在不同的防護堤，避免因泄漏排人的兩種或兩種以上的化學(xué)品發(fā)生化學(xué)反應引發(fā)事故?；瘜W(xué)品回收系統的桶槽等設備的材質(zhì)選用應與相應的化學(xué)品供應系統的要求相同。

③潔凈廠(chǎng)房中化學(xué)品回收系統管道的布置應滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)操作、設備管道安裝及維護檢修的要求，一般化學(xué)品回收管道均采用架空敷設，通常按化學(xué)品回收系統的流向自上而下通過(guò)重力流至回收桶罐，若排放的生產(chǎn)設備與化學(xué)品回收系統之間無(wú)法實(shí)現重力流排放時(shí)，應按廠(chǎng)房?jì)仍O備．管道的實(shí)際布置狀況增設中間儲罐，并從中間儲罐采用泵抽送化學(xué)品廢液至化學(xué)品回收系統的回收儲罐，化學(xué)品回收系統管道的設置，管道及附件的材質(zhì)選用等均與相應的化學(xué)品供應系統的要求相同

友情鏈接

友鏈合作