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潔凈室（區）設備安裝要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發(fā)布時(shí)間：2022-07-27
在GB/T 25915.5/1S0 14644-5 中要求潔凈室內固定設備的安裝，應根據潔凈室的設計和作用,下面具體重點(diǎn)介紹下一下情況


1.設備的安裝方法：理想的方法是在設備安裝期關(guān)閉潔凈室，并且有能滿(mǎn)足設備運進(jìn)所福覽度的門(mén)或在瑞板上預留通 道，以讓新設備通過(guò)并進(jìn)入潔凈室，為防止安裝期附近的潔凈室受到污染、應采取防護措施，以確保潔凈室仍符合其潔凈度要求所需的后續的工作。


2.若設各安裝期間潔凈室的工作不能停，或有結構需要拆除，必須將正在運行的潔凈室與工作區進(jìn)行有效隔離：可采用臨時(shí)隔離墻或隔斷圍擋。為不妨礙安裝工作，沒(méi)備周?chē)鷳挠凶銐虻目臻g。若條件許可，可通過(guò)服務(wù)通道或其他非關(guān)鍵區 進(jìn)人隔離區：如不可能，應釆取措施盡量降低安裝工作所產(chǎn)生的污染影響。該隔離區應維持等壓或負壓。隔高區內應切斷潔凈送風(fēng)，避免對周?chē)臐崈羰倚纬烧龎?。如果只有通過(guò)相鄰的潔凈室才能進(jìn)人隔離區，則應采用粘墊，去除鞋上攜帶的污物。


3.進(jìn)人隔高區后，可使用一次性靴子或套鞋及連體工作服以免污染潔凈服。離開(kāi)隔離區前應脫下這些一次性物品。應制定設備安裝過(guò)程對隔離區周?chē)鷧^域監測的方法并確定監測頻度，確保檢測到可能泄漏至相鄰潔凈室的任何污染，隔離措施設置后可架設各種所需的公共服務(wù)設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和廢水管道，應注意盡可能控制并隔離作業(yè)產(chǎn)生的煙塵和渣屑，避免因疏忽擴散至周?chē)臐崈羰?，還應便于拆除隔離屏障前進(jìn)行有效的清潔。公用服務(wù)設施符合使用要求后，應按規定的清潔規程對整個(gè)隔離區清潔去污。包括全部的墻、（固定的和可移動(dòng)的）設備及地面在內的所有表面，都要進(jìn)行真空清潔、擦拭和拖擦，并應特別注意清潔設備護板后面及設備下面的區城。


4.依據潔凈室和安裝設備實(shí)際狀況可進(jìn)行設備性能的初步測試，但后面的驗收檢測應在完全具備潔凈環(huán)境條件時(shí)進(jìn)行。根據安裝現場(chǎng)狀況可開(kāi)始小心地拆除隔離墻；如已關(guān)閉潔凈送風(fēng)，則將其重新啟動(dòng)；應慎重選定進(jìn)行這階段工作的時(shí)間，以盡量減少對潔凈室正常工作的千擾。此時(shí)可能需要測量空氣懸浮粒子濃度是否滿(mǎn)足規定要求


5. 設備內部及關(guān)鍵的工藝腔室的清潔與準備工作，應在正常的潔凈室條件下進(jìn)行。與產(chǎn)品接觸或與產(chǎn)品輸送有關(guān)的所有內腔室及所有表面都要進(jìn)行擦拭，使其達到要求的潔凈程度。設備的清潔順序應是從頂到底，如有粒子擴散，較大的粒子因重力將落到設備的底部或地面上。清潔設備的外表面，順序也是從頂到底。必要時(shí)，應對產(chǎn)品或生產(chǎn)工藝要求屬于關(guān)鍵性的區城，進(jìn)行表面粒子檢測.


6.鑒于潔凈室的特點(diǎn)，尤其是高科技潔凈室大面積、高投人、高產(chǎn)出的特點(diǎn)和十分嚴格的潔凈度要求，在這類(lèi)潔凈廠(chǎng)房?jì)壬a(chǎn)工藝設備的安裝更加具有一般潔凈廠(chǎng)房沒(méi)有的特定要求。為此，在2015 年發(fā)布的國家標準《潔凈廠(chǎng)房施工及質(zhì)量驗收規范》（GIB 51110）中對潔凈廠(chǎng)房?jì)壬a(chǎn)工藝設備的安裝作了一些規定，主要有以下內容。


A.為了防止在生產(chǎn)工藝設備的安裝過(guò)程中給已進(jìn)行“空態(tài)〞驗收的潔凈室（區）帶來(lái)污染甚至損壞，其設備的安裝過(guò)程不得有超范圍的振動(dòng)、傾斜，不得劃份及污染設備表面。


B.為使潔凈室（區，內生產(chǎn)工藝設備的安裝做到有序和無(wú)坐或少坐作業(yè)，并能遵循潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊臐崈羯a(chǎn)管理制度，做到在生產(chǎn)設備安裝過(guò)程保護好已經(jīng)按“空態(tài)”驗收的各項“成品”“半成品”，安裝過(guò)程所必須使用的材料、機具等不得散發(fā)或可能產(chǎn)生（長(cháng)期地包括在潔凈室正常運行中）對所生產(chǎn)產(chǎn)品有害的污染物，應采用無(wú)塵、無(wú)銹、無(wú)油脂且在使用過(guò)程中不產(chǎn)塵的清潔材料。


C.應以潔凈、無(wú)塵的板材、薄膜等材料保護潔凈室（區）的建筑裝飾表面；設備墊板應按設計或設備技術(shù)文件要求制作，如無(wú)要求時(shí)應采用不銹鋼板或塑料板。獨立基礎和地板加固用碳鋼型材應經(jīng)防腐處理，表面應平整、光滑；用于嵌縫的彈性密封材


D.材料應注明成分、品種、出廠(chǎng)日期、儲存有效期和施工方法說(shuō)明書(shū)及產(chǎn)品合格證書(shū)潔凈室（區）使用的機具不得搬至非潔凈室（區）使用，非潔凈室（區）使用的機具不得搬至潔凈室（區）使用，潔凈區使用的機具應做到機具外露部分不產(chǎn)塵或采取防止塵埃污染環(huán)境的措施，常用機具在搬人潔凈區前應在氣閘室進(jìn)行清潔處理，應達到無(wú)油、無(wú)垢、無(wú)塵、無(wú)銹的要求，并應經(jīng)檢查合格貼上“潔凈”或“潔凈區專(zhuān)用”標識后搬人。


E.潔凈室（區）內的生產(chǎn)工藝設備需安裝在活動(dòng)地板等“特定地面”上的設備基礎一般應設置在下技術(shù)夾層地坪上或泥凝士多孔板上；安裝基礎所需拆除的活動(dòng)地板，經(jīng)手持電鋸切割后的結構應子加固，其承載能力不應低于原承載能力。當應用鋼制框架結構的獨立基礎時(shí)，應選用鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應平整、光滑。


F.潔凈室（區）內生產(chǎn)工藝設備的安裝過(guò)程需在墻板、吊頂和活動(dòng)地板開(kāi)洞時(shí)，其開(kāi)洞作業(yè)不得劃份或污染需保留的墻板、吊 頂板表面，活動(dòng)地板開(kāi)口后不能及時(shí)安裝基礎時(shí)，應設安全護欄并設危險標識；生產(chǎn)設備安裝后，洞口四周間隙應進(jìn)行密封處理，并應做到設備與密封組件為柔性接觸，密封組件與壁板的連接應緊密、牢固；工作間一側的密封面應平整、光滑。

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