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潔凈廠(chǎng)房中化學(xué)品儲存間如何布置
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發(fā)布時(shí)間：2023-06-27
在潔凈廠(chǎng)房?jì)雀鶕a(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要和化學(xué)品物化性質(zhì)分別設置不同類(lèi)型的化學(xué)品儲存、分配間，以輸送管道向所需化學(xué)品的生產(chǎn)設備供應相應的化學(xué)品。潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊幕瘜W(xué)品儲存、分配間通常設在生產(chǎn)支持區（輔助生產(chǎn)區），一般設在靠外墻的單層或多層的底層房間。各類(lèi)化學(xué)品應按其物化特性分類(lèi)儲存，不相容的化學(xué)品應布置在不同的化學(xué)品儲存、分配間內，房間之間應以實(shí)體隔墻進(jìn)行分隔；危險性化學(xué)品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內，與相鄰房間的隔墻耐火極限不應小于2.0h，并應布置在生產(chǎn)廠(chǎng)房一層靠外墻的房間內。

在電子工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房?jì)韧ǔＴO有酸類(lèi)和堿類(lèi)化學(xué)品儲存分配間、可燃溶劑類(lèi)化學(xué)品儲存間。在酸類(lèi)儲存分配間內一般設置硫酸、磷酸、氫氟酸、鹽酸等儲存、分配系統，在堿類(lèi)儲存分配間內一般設置氫氧化鈉、氫氧化餅、氫氧化胺、氫氧化四甲基胺等儲存、分配系統；可燃溶劑的儲存分配間內一般設有異丙醇 (IPA）等有機溶劑的儲存分配系統。在集成電路晶圓制造工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房?jì)冗€設有研磨液儲存分配間。在集成電路晶圓、平板顯示器件制造潔凈廠(chǎng)房中，通常是將化學(xué)品儲存分配間布置在靠近潔凈生產(chǎn)區或貼鄰在潔凈生產(chǎn)區一側的輔助生產(chǎn)區或支持區，一般是設置在一層并能直接通往室外的布置。

化學(xué)品儲存分配間內根據產(chǎn)品生產(chǎn)所需的化學(xué)品種類(lèi)、數量和使用特性設有不同容量的儲存用桶槽或儲罐。按標準規范的規定，化學(xué)品應分類(lèi)分別儲存，所采用的桶槽或儲罐的容量應為此類(lèi)化學(xué)品7天的消耗量；并應設置日用桶槽或儲罐，日用桶槽的容量應為產(chǎn)品生產(chǎn)所需化學(xué)品 24h的消耗量，可燃溶劑化學(xué)品、氧化性化學(xué)品的儲存分配間應分別設置，并與相鄰房間之間設置耐火極限為3.0h 的實(shí)體防火隔墻分隔，若布置在多層建筑的一層時(shí)，應以耐火極限不小于 1.5h 的不燃燒體樓板與其他部分分隔；潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊幕瘜W(xué)品安全及監探系統集中控制室應設置在單獨的房間內。

潔凈廠(chǎng)房?jì)然瘜W(xué)品儲存分配間的高度應根據設備和管道布置的要求確定，一般不宜低手4.5m；若布置在潔凈廠(chǎng)房輔助生產(chǎn)（支持區）部分內時(shí)，化學(xué)品儲存分配間的高度宜與所在部分的廠(chǎng)房高度一致。

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